Στόχοι εκτόξευσης τιτανίου με υψηλή καθαρότητα

Στόχοι εκτόξευσης τιτανίου με υψηλή καθαρότηταείναι πηγές εκτόξευσης που σχηματίζουν διάφορα λειτουργικά λεπτά φιλμ σε υποστρώματα με ψεκασμό με μαγνητρόνιο, επιμετάλλωση ιόντων πολλαπλών τόξων ή άλλους τύπους συστημάτων επίστρωσης υπό κατάλληλες συνθήκες διεργασίας. Με απλά λόγια, το υλικό-στόχος είναι το υλικό-στόχος που βομβαρδίζεται από φορτισμένα σωματίδια υψηλής ταχύτητας.

Χρησιμοποιείται σε όπλα λέιζερ υψηλής ενέργειας. Όταν τα λέιζερ με διαφορετικές πυκνότητες ισχύος, διαφορετικές κυματομορφές εξόδου και διαφορετικά μήκη κύματος αλληλεπιδρούν με διαφορετικούς στόχους, θα προκαλέσουν διαφορετικούς θανάτους και ζημιές. αποτέλεσμα. Για παράδειγμα: η επίστρωση μάγνητρον εξάτμισης είναι η επίστρωση εξάτμισης θέρμανσης, η μεμβράνη αλουμινίου και ούτω καθεξής. Με την αντικατάσταση διαφορετικών υλικών-στόχων (όπως αλουμίνιο, χαλκός, ανοξείδωτος χάλυβας, τιτάνιο, στόχοι νικελίου κ.λπ.), μπορούν να ληφθούν διαφορετικά συστήματα φιλμ (όπως υπερσκληρά, ανθεκτικά στη φθορά, αντιδιαβρωτικά φιλμ κράματος κ.λπ.).

Παράμετροι

Χαρακτηριστικά

1. Ελαφρύ

2. Υψηλή ειδική αντοχή

3. Αντοχή στη διάβρωση

4. Αντοχή σε υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία

Εφαρμογές

★Ναυπηγική ★Ηλεκτρολυτική Επιμετάλλωση ★Αεροδιαστημική ★Χημική Βιομηχανία ★Ιατρικός εξοπλισμός

Λεπτομέριες

Κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας πρώτες ύλες, ανθεκτικό στη φθορά και ανθεκτικό στη διάβρωση, μακροχρόνια χρήση

Χωρίς ξεφλούδισμα ρωγμών στην επιφάνεια, χωρίς λεκέδες από λάδι, λεία και καθαρή πλαϊνή επιφάνεια

Πλήρεις προδιαγραφές, αυθαίρετη κοπή, υποστήριξη μη τυπικής προσαρμογής

Η καθαρότητα του υλικού στόχου έχει μεγάλη επίδραση στην απόδοση του φιλμ. Η καθαρότητα είναι ένας από τους δείκτες απόδοσης στόχου.

Καθαρότητα

Η καθαρότητα του στόχου είναι ένας από τους κύριους δείκτες απόδοσης του στόχου, επειδή η καθαρότητα του στόχου επηρεάζει σε μεγάλο βαθμό την απόδοση της ταινίας. Ωστόσο, σε πραγματικές εφαρμογές, οι απαιτήσεις για την καθαρότητα του υλικού στόχου δεν είναι οι ίδιες. Για παράδειγμα, με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας μικροηλεκτρονικών Το μέγεθος της γκοφρέτας πυριτίου επεκτάθηκε από 6 ", 8" σε 12 ", το πλάτος καλωδίωσης μειώθηκε από 0,5 um σε 0. 25 μ.μ., 0.18 μ.μ. και 0.13 μμ. Προηγουμένως, η καθαρότητα στόχος ήταν 99,995 τοις εκατό .

Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες

Η κύρια πηγή του εναποτιθέμενου φιλμ είναι το οξυγόνο και η υγρασία των στερεών και των πόρων-στόχων. Οι στόχοι για διάφορες εφαρμογές έχουν διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετικά επίπεδα ακαθαρσίας. Για παράδειγμα, οι στόχοι καθαρού αλουμινίου και κραμάτων αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και την περιεκτικότητα σε ραδιενεργά στοιχεία.

Πυκνότητα

Προκειμένου να μειωθούν οι πόροι των στερεών-στόχων και να βελτιωθεί η απόδοση των διασκορπισμένων φιλμ, οι στόχοι πρέπει συνήθως να είναι πιο πυκνοί. Η πυκνότητα στόχος επηρεάζει όχι μόνο τον ρυθμό εκτόξευσης αλλά και τις ηλεκτρικές και οπτικές ιδιότητες του φιλμ. Όσο μεγαλύτερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του φιλμ. Επιπλέον, όταν αυξάνεται η πυκνότητα και η ένταση του στόχου, ο στόχος μπορεί να αντέξει τη θερμική καταπόνηση κατά τη διάρκεια της εκτόξευσης. Η πυκνότητα είναι ένας από τους δείκτες απόδοσης στόχου.

Μέγεθος κόκκου και κατανομή μεγέθους

Συνήθως ο στόχος είναι πολυκρυσταλλικός και το μέγεθος των σωματιδίων μπορεί να είναι της τάξης των μικρομέτρων έως του χιλιοστού. Στην περίπτωση του ίδιου στόχου, ο ρυθμός διασκορπισμού του λεπτόκοκκου στόχου είναι ταχύτερος από τον ρυθμό εκτόξευσης του χονδρόκοκκου στόχου, ενώ η εναπόθεση διασκορπισμού του στόχου μικρότερου μεγέθους σωματιδίων (ομοιόμορφη κατανομή) έχει ομοιόμορφη κατανομή πάχους (ομοιόμορφη). . Διανομή.

Εάν ενδιαφέρεστε για τοστόχοι εκτόξευσης τιτανίου με υψηλή καθαρότητα, Παρακαλώ μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας:

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ:zhangjixia@bjygti.com

Αρχική σελίδα:http://www.toptitech.com

Δημοφιλείς Ετικέτες: στόχοι sputtering τιτανίου με υψηλή καθαρότητα, Κίνα, προμηθευτές, κατασκευαστές, προσαρμοσμένες, χρήση, τιμοκατάλογος, προς πώληση, σε απόθεμα, δωρεάν δείγμα, πορώδες υλικό